Pg电子游戏：加速光刻胶国产化进程安捷伦液相色谱技术助力光刻胶的质控和研究
液相色谱技术（包括凝胶渗透色谱技术）是光刻胶从单体原料到光刻胶树脂，以及最终光刻胶成品质控和研究的重要分析技术之一。
安捷伦液相色谱通过阀切换方案，既能准确快速的定量阻聚剂含量，又能避免高含量单体的污染。（该方案也同样适用于单体合成光刻胶树脂后，树脂中残留阻聚剂的定量分析）
（GPC）是根据聚合物分子在溶液中的大小，从而将其进行分离的色谱技术。通过采用窄标校正的方式，可以测得聚合物的相对分子量，是聚合物分子量和分子量分布表征的重要手段。安捷伦 GPC 系统有着优秀的流量精度和温度稳定性，能保证极佳的日间精密度，可用于光刻胶树脂生产的质量控制。此外，采用 GPC 串联多角激光光散射检测器（GPC-MALS），可以实现不依赖于标样校正，测得聚合物的绝对分子量，可以消除依赖标样校正的分子量测量偏差。
结合安捷伦二维液相色谱技术，可以将 GPEC 和 GPC 两种分离技术进行在线组合（GPEC-GPC 2DLC），实现对光刻胶树脂的化学组成和分子量两个维度的综合表征。
光刻胶树脂由单体聚合而成，单体在反应中无法实现全部转化成聚合物，因此得到的树脂产品中总会含有残留的单体。为了更好的控制光刻胶树脂的纯度和质量，需要有效的手段来对合成过程中残留的单体进行控制。针对用于合成 ArF 光刻胶的树脂单体来说，其在紫外波长下吸收弱，且样品中可能同时存在难挥发的树脂和易挥发的单体，对此类树脂中残留单体的检测具有一定的挑战。
安捷伦独有的 1260 InfinityⅡ Hybrid Multisampler 进样器的 Feed 进样模式，能有效的消除四氢呋喃作为样品溶剂，由于其洗脱强度与液相初始梯度的溶剂强度不匹配导致的溶剂效应，改善峰形。结合带 60 mm 高灵敏度流通池的 DAD 检测器可以将单体的检测浓度进一步降低至 ppb 水平，树脂中常规方法未检测出的低浓度单体通过该方案可以检出，与传统液相方式相比灵敏度提高 10 倍以上。
光刻胶一般由树脂、光致产酸剂、添加剂和溶剂组成，其中添加剂通常都是小分子组分，这些组分和树脂、光酸共同实现光刻效果。如果要剖析其中的成分，直接进样分析会面临大分子树脂的干扰，如果使用前处理液液萃取也同样存在小分子被树脂包裹的影响，因此利用安捷伦 2D-ASM-LC-MS 平台，1D 采用 GPC 分离模式，把光刻胶中大分子的树脂和小分子组分完全分离，然后 2D 采用反相液相模式，结合安捷伦独有的ASM技术可以有效减少 1D-GPC 带来的溶剂效应，使得 2D-RPLC 模式能够有效的分离各小分子组分，经二维分离后，各组分依次进入 MS 检测器，最终可解析得到添加剂的化学组成信息。
安捷伦液相色谱平台涵盖各种先进技术，比如独有的 Feed 模式进样器搭配高灵敏度检测器可以实现树脂中低含量的单体残留的定量；稳定耐用的泵保证了 GPC 结果的精密度和可靠性；结合灵活的阀技术，可实现样品中高浓度基质切入废液减少检测器污染；搭配 2D-LC 和独有的 ASM 技术，为光刻胶树脂和配方的质控和研究提供有利工具。
创新的安捷伦液相色谱丰富的产品组合，不但满足光刻胶从单体到树脂，树脂到光刻胶成品的各种分析和研究需求，还能让复杂的定性和定量问题迎刃而解，为光刻胶国产化进程添砖加瓦。
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