Pg电子平台：上海邦芯申请离子束调整装置及其调整方法专利通过控制装置降低结构复杂度
发布时间：2024-11-24 10:36:38点击量：
金融界2024年10月9日消息，国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“离子束调整装置及其离子束调整方法”的专利，公开号 CN 118748143 A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请公开了一种离子束调整装置及其离子束调整方法。所述离子束调整装置包括：至少二离子调整分体，至少二所述离子调整分体围合形成位于其内的离子束通道；每一所述离子调整分体适于被电导通，并在其周围产生电场，使得离子束在通过由所述离子调整分体围合形成的离子束通道时被调整。本申请通过控制离子束调整装置的离子调整分体的电流来调整穿过离子束调整装置的离子束，降低了离子束调整装置的结构复杂度，且不仅能够调整离子束的电流大小，还能够调整离子束的离子分布密度。
