Pg电子平台：Caelum系列射频电源系统｜助力半导体关键技术自主可控
在半导体设备领域，射频电源是薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一，是半导体工艺控制的核心。
射频电源是等离子体控制配套电源,主要用于在低压或常压中产生等离子体，其直接关系到腔体中的等离子体浓度、稳定度和均匀度，技术壁垒较高、国产化率低，长期被国外企业所垄断。
奕瑞科技在国内率先开展等离子体控制模块及射频电源系统工艺开发工作，开发的Caelum系列射频电源系统，凭借高精度FPGA全数字化控制、精密算法及射频功率放大模块建模，做到极高的输出功率控制精度，以满足半导体最严苛的工艺需求。该系统的问世填补我国在半导体设备核心零部件的技术和产品短板，并有望进一步推动半导体关键核心部件国产化进程。
Caelum系列射频电源的功率控制系统采用基于FPGA的全数字化控制技术，结合数字化控制算法与射频功率放大模块精准建模，实现数据驱动的自动匹配，精确稳定控制射频电源的输出功率，达到严苛的半导体工艺制程的功率精度要求。
Caelum系列射频电源的射频功放模块在任何负载下都能稳定的输出, 驻波保护能在负载出现异常后微秒级的时间内快速响应，可及时可靠的保护射频电源不因负载的异常导致故障损坏。
Caelum系列射频电源按照行业标准，采用标准化模块设计，具有长平均故障间隔时间(MTBF),整体维护成本低。
Caelum系列射频电源采用AFT算法能够快速匹配复杂等离子工艺，电弧管理则能帮助减缓对晶圆的损伤并能提升产能。电源具有低延迟数据交互接口，通过可配置EtherCA交互界面实现快速的通讯，为用户带来更多效益。
奕瑞科技凭借前沿的射频（RF）技术，正有力推动着半导体芯片与显示屏制造领域的革新进程，这一创新技术如同催化剂，不仅帮助客户解决生产良率与品质保障的关键难题，更在推动半导体产业向更高质量、更高效率的目标稳步迈进。我们有理由相信在不久的将来高性能的国产芯片一定能够走向世界舞台的中心，为全球科技进步和经济发展作出更大的贡献！
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